Publica

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Systemtechnik für Chemosensoren

: Drost, S.; Endres, H.-E.; Sandmaier, H.

	Mikroelektronik : me 5 (1991), No.3, pp.40-42 ISSN: 0931-2714

	German
	Journal Article
	Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
	chemischer Sensor; dielektrischer Sensor; Interdigitalkompensation; massensensitiver Sensor; Mikrosystemtechnik

Abstract
Ein System für chemische Sensoren, das verschiedene physikalische meßbare Größen eines Sensitiven Materials zur Detektion nutzt, wird vorgestellt. Zu den meßbaren physikalischen Porometen zählen Permittivität, Leitfähigkeit, Massenadsorption etc. Durch die gleichzeitige Messung mehrerer Porometer können die Eigenschaften des Sensorsystems verbessert werden. An einem Beispiel wird dieses System demonstriert.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-35650.html