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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Systemtechnik für Chemosensoren
 
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1991
Journal Article
Title

Systemtechnik für Chemosensoren

Abstract
Ein System für chemische Sensoren, das verschiedene physikalische meßbare Größen eines Sensitiven Materials zur Detektion nutzt, wird vorgestellt. Zu den meßbaren physikalischen Porometen zählen Permittivität, Leitfähigkeit, Massenadsorption etc. Durch die gleichzeitige Messung mehrerer Porometer können die Eigenschaften des Sensorsystems verbessert werden. An einem Beispiel wird dieses System demonstriert.
Author(s)
Drost, S.
Endres, H.-E.
Sandmaier, H.
Journal
Mikroelektronik : me  
Language
German
IFT  
Keyword(s)
  • chemischer Sensor

  • dielektrischer Sensor

  • Interdigitalkompensation

  • massensensitiver Sensor

  • Mikrosystemtechnik

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