Systemkonzepte mikrosystemtechnischer Aufgabenstellungen

Die Mikrosystemtechnik vereint Sensoren, Signalverarbeitung und Aktoren in miniaturisierter Bauform zu einem Gesamtsystem. Sie nützt die Synergiewirkungen eines ganzen Feldes von Techniken wie z. B. die Mikroelektronik, Mikromechanik, Mikrooptik, Mikrofluiddynamik oder Mikroakustik. Die Komplexität mikrosystemtechnischer Aufgabenstellungen legt eine Gesamtsystemsimulation nahe, um vorab eine Einschätzung der Realisierbarkeit bzw. des Aufwandes zu erhalten. Die Beschreibung von Systemen erfordert die Verkoppelung unterschiedlichster physikalischer Bereiche und damit die Definition von Schnittstellen sowie eine umfassende Modellbildung der Einzelkomponenten.