Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Surface micromachined piezoresistive pressure sensors with step-type and flat membrane structures

 
: Lisec, T.; Kreutzer, M.; Wagner, B.

:

IEEE transactions on electron devices 43 (1996), pp.1547-1552
ISSN: 0018-9383
English
Journal Article
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-35407.html