Superharte Schichten für extreme Anforderungen

Superharte Schichten aus Diamant und c-BN zeichnen sich durch hervorragende tribologische, aber auch elektronische und optische Eigenschaften aus. Nicht zuletzt durch eine intensive Förderung des BMBF konnten in den letzten Jahren erhebliche Fortschritte auf dem Gebiet der superharten Schichten erzielt werden. Die Abscheidung von Diamant auf Hartmetall- und Keramikwerkzeugen ist gelungen. Die große Leistungsfähigkeit CVD-diamantbeschichteter Werkzeuge wurde in einigen Bereichen erfolgreich demonstriert. Bei der Abscheidung auf Stahl konnten entscheidende Fortschritte erzielt werden. Das Potential von Diamantschichten für elektronische Bauteile wurde an Teststrukturen aufgezeigt. Prototypen für Wärmesenken, Lithographiemaskenträger und Röntgenröhrenfenster konnten realisiert werden. Die Abscheidung von c-BN-Schichten befindet sich noch am Beginn der Entwicklung, bisher ist es gelungen 0,5 nm dicke Schichten abzuscheiden. Zukünftige Aufgaben liegen in der Ertüchtigung der Werkstoffe für die vielfältigen Anwendungen, der Bereitstellung einer Fertigungstechnologie und in der Untersuchung neuer superharter Werkstoffe wie dem theoretisch vorhergesagten Beta-C3N4.