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Substrat-Halbzeug fuer optisch-elektrische Hybridschaltungen und Verfahren zu seiner Herstellung
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Title
Substrat-Halbzeug fuer optisch-elektrische Hybridschaltungen und Verfahren zu seiner Herstellung
Date Issued
1994
Author(s)
Buss, W.
Eberhardt, R.
Patent No
1993-4312881
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=4312881A
Patenprio
DE 1993-4312881 A: 19930420