Strömungstechnische Gestaltung von Anlagenkomponenten

Die Erzeugung luftgetragener Partikel läßt sich in Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von "Reinraumprodukten" auch bei der Verwendung von kontaminationsarmen Funktionsträgern wie beispielsweise Führungen, Antrieben und Antriebsübertragungen nicht vollkommen verhindern. Bei einer Produktfertigung unter atmosphärischen Bedingungen wird der Vorteil der Bereitstellung einer hohen Erstluftqualität in Verbindung mit der turbulenzarmen Verdrängungsströmung im Reinraum nur dann voll genutzt, wenn die innerhalb einer Anlage generierten Pariktel kontrolliert und möglichst schnell abgeleitet werden. Zur Gewährleistung einer steten Umströmung des Produktes mit Erstluft ist eine strömungsgerechte Auslegung von reinraumtauglichen Fertigungseinrichtungen erforderlich. Es werden Ergebnisse aus experimentellen Strömungsuntersuchungen vorgestellt und daraus grundlegende strömungstechnisch Gestaltungsrichtlinien für die Konstruktion von Fertigungseinrichtungen abgeleitet. Dabei wird zwischen Funkti onsträgern, Baugruppen und Fertigungsanlagen sowie deren konstruktiver Bauweise und Anordnung bzw. Aufstellung unterschieden.