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1988
Journal Article
Titel
Stroemungsausbildung an Fertigungsgeraeten fuer den Reinraum-Einsatz. Tl.2
Abstract
Zur Qualifizierung von Fertigungsgeräten für den Reinraum-Einsatz ist neben dem Einsatz der Partikelmeßtechnik die Anwendung der Strömungssichtbarmachung unerläßlich. Die sich bei den Strömungsanalysen ergebenden Hauptaufgabengebiete, Untersuchungsschwerpunkte sowie Zielsetzungen werden näher beschrieben. In einem Überblick werden gängige qualitative und quantitative Untersuchungsmethoden aufgezeigt. (IPA)