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1999
Conference Paper
Title

Aktivhartlotpaste für hochreines Aluminiumoxid mit angepaßtem Ausdehnungskoeffizienten und höchster Festigkeit, Vakuumdichtigkeit und Korrosionsbeständigkeit des Verbundes

Abstract
Zum Verbinden von Al2O3-Teilen wurde die Aktivlotlegierung ZrFe16,5Ti9Be2 entwickelt. Sie zeichnet sich durch folgende Eigenschaften aus: Thermischer Ausdehnungskoeffizient 7×10(hoch -6)/K bei 80 °C, Biegefestigkeit der Verbindungsstelle 220 MPa, Druckfestigkeit 2500 MPa, Hysterese- und Kriechfreiheit innerhalb der Belastungsgrenzen bis 150 °C, weitestgehende Korrosionsbeständigkeit, Löttemperatur 800 °C und ein Dampfdruck von sehr viel kleiner als 10(hoch -6) mbar. Die Legierung ist im modifizierten HDH-Verfahren sehr gut zu pulverisieren. Das Pulver wird im Bindersystem zu einer siebdruckfähigen Paste verarbeitet. Die hochreinen Al2O3-Teile werden im uniaxialen Trockenpreßverfahren geformt. Die Vakuumleckrate der Keramik ist besser als 10(hoch -13) mbarl/s bei 25 °C und 200 µm Materialstärke, die Festigkeit im Doppelringbiegeversuch beträgt 580 MPa, die Härte 20 GN/m(hoch 2) und die Temperaturschockbeständigkeit ist größer als 190 K.
Author(s)
Hegner, F.
Schmidt, E.
Roßberg, A.
Breme, J.
Müller, H.
Turnsek, J.
Güther, V.
Otto, A.
Eicher, T.
Otschik, P.
Schaffrath, W.
Ludwig, H.
Voigtsberger, B.
Birnbaum, U.
Herold, V.
Mainwork
Werkstoffwoche '98. Bd.1: Symposium 1: Werkstoffe für die Informationstechnik. Symposium 12: Mikrosystemtechnik  
Conference
Werkstoffwoche 1998  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS  
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