Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Staubarm ist nicht rein. Partikelquellen bei Fertigungsabläufen im Reinraum

 
: Geißinger, J.; Kahlden, T. von; Klumpp, B.

BioEngineering 5 (1989), Beilage Reinraumwelt, pp.54-58
ISSN: 0178-2029
German
Journal Article
Fraunhofer IPA ()
Reinheit; Reinheitsgrad; Reinraum; Teilchen

Abstract
Die Ausbringungsrate einer Fertigung im Reinraum ist abhängig von der Kontamination - sprich der "Verschmutzung". Schmutz ist hier sehr relativ zu sehen. Was unter normalen Umständen laienhaft als "klinisch sauber" bezeichnet würde, ist im Reinraum möglicherweise schon tödlich für den ganzen Produktionsprozeß. Erste Qualitätssicherungs-Maßnahme ist also, alle Partikelquellen so weit wie möglich zu eliminieren. Und deren gibt es im Reinraum eine sehr große Zahl.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-34768.html