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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Stand und Entwicklungen in der Dünnschichttechnik
 
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1991
Journal Article
Title

Stand und Entwicklungen in der Dünnschichttechnik

Abstract
Die "International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Film" (ICMCTH '91) in San Diego/USA ist in jedem Jahr ein wichtiges Forum für den Austausch von Informationen über die Grundlagen, Technologie und Anwendung dünner Schichten. Mit über 460 Vorträgen ist die Tagung die weltweit größte, jährlich stattfindende Konferenz über Vakuumbeschichtungen und Oberflächenmodifikation. Diamant- und diamantähnliche Schichten sind aufgrund ihrer außergewöhnlichen mechanischen, elektronischen und optischen Eigenschaften ein wichtiger Schwerpunkt der Dünnschichtforschung in zahlreichen Instituten und Industrielabors
Author(s)
Fessmann, J.
Mucha, A.
Täschner, C.
Journal
Dünne Schichten  
Conference
International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films 1991  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • Beschichtung

  • Dünnschichttechnik

  • Oberflächentechnik

  • Tagungsbericht

  • Vakuumtechnik

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