Speckle-Interferometrie mit Diodenlasern zur Formprüfung

In der ESPI (Electronic Speckle Pattern Interferometry) erlaubt der Einsatz von kontinuierlich durchstimmbaren Halbleiterdiodenlasern die Messung der 3D-Topographie von technischen Freiformflächen. Die Auflösung dieser Zweiwellenlängen-ESPI (TWESPI) hängt entscheidend von dem durchstimmbaren Wellenlängenbereich des eingesetzten Lasers ab. Mit einem Distributed-Bragg-Reflector--Laser (DBR-Laser) konnten Formmessungen erfolgreich durchgeführt werden. In diesem Beitrag wird über weiterführende Methoden des Einsatzes eines DBR-Lasers zur Erweiterung des Meßbereiches, zur Phasenschiebung und zur Kalibrierung des Meßsystems berichtet. Darüber hinaus wird ein Aufbau zur kombinierten Messung von Form und Deformation vorgestellt und entsprechend Meßresultate präsentiert.