Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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SOI-Technologien

 
: Seegebrecht, P.

Mikroelektronik. Vorträge der GME-Fachtagung
Berlin/West: VDE-Verlag, 1989 (GME-Fachbericht 4)
ISBN: 3-8007-1624-0
pp.97-102 : Abb.,Lit.
Mikroelektronik <1989, Baden-Baden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
SIMOX; SOI-CMOS; vertikale Integration; Wafer-Bonding; ZMR-Verfahren

Abstract
Die Prozeßkomplexität und damit die Prozeßkosten bei der Herstellung integrierter Schaltungen steigen mit dem Übergang zu Submym-Dimensionen dramatisch an. Einen Ausweg aus diesem Problemkreis kann hier die SOI-Technik bieten. In dem Vortrag werden zunächst die Vorteile, die die SOI-Technik bietet, erläutert und dann Herstellungsverfahren für SOI-Strukturen behandelt und bewertet.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-34123.html