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Simulation von Trockenaetzprozessen - Erreichter Stand, Probleme, weitere Entwicklungen
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1987
Book Article
Title
Simulation von Trockenaetzprozessen - Erreichter Stand, Probleme, weitere Entwicklungen
Author(s)
Pelka, J.
Mainwork
Grossintegration
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
Keyword(s)
Entwicklung
problem
simulation
Stand(erreicht)
Trockenätzprozeß
