Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Simulation of the step coverage for chemical vapor deposited silicon dioxide

 
: Wille, H.; Burte, E.P.; Ryssel, H.

:

Journal of applied physics 71 (1992), No.7, pp.3532-3537
ISSN: 0021-8979
ISSN: 1089-7550
English
Journal Article
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-33723.html