Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Simulation of the lithographic properties of ion-beam resists

 
: Haberger, K.; Hoffmann, K.; Forster, M.; Ryssel, H.

Ryssel, H.; Glawischnig, H.:
Ion implantation. Equipment and techniques
Berlin; Berlin/West: Springer, 1983 (Springer series in electrophysics 11)
pp.263-268 : Abb.,Lit.
English
Book Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Ionenstrahl; Lithographie; Photolack

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-33722.html