Silizium-Mikrosysteme für medizinische Anwendungen

Die physikalischen Eigenschaften des Siliziums können dazu benutzt werden, die unterschiedlichsten Sensorelemente zu realisieren, die auf thermischen, magnetischen, oder optischen Effekten des Siliziums basieren. Solche Sensoren profitieren nicht nur von der Silizium-Massenfertigungstechnik, sondern können zusätzlich in vielen Fällen mit Elektronik kombiniert werden. Hier spricht man von der Mikrosystemtechnik, die digitale und analoge Schaltungen mit Sensoren und Aktoren auf einem Chip oder auch in hybrider Bauweise kombiniert. Der hohe Miniaturisierungsgrad solcher Systeme macht sie für Anwendungen im Bereich der Medizin besonders interessant. An Hand verschiedener Beispiele soll gezeigt werden, daß es sich hierbei nicht um Zukunftsvisionen handelt, sondern daß derartige Systeme schon heite eingesetzt werden oder an der Schwelle zur Anwendung stehen.