Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Shallow, titanium-silicided p and n junction formation by triple germanium amorphization

 
: Dehm, C.; Gyulai, J.; Ryssel, H.

:

Applied Physics Letters 60 (1992), No.10, pp.1214-1216
ISSN: 0003-6951
ISSN: 1077-3118
English
Journal Article
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-33339.html