Options
1996
Conference Paper
Titel
Sensoren, Aktoren auf der Basis eines Sol- Gel - Moduls
Abstract
Sol-Fertigung nur inhouse, Entwicklung in Instituten. Erhöhung der Schichtdicke je Beschichtungszyklus. Prozeßvereinfachung durch photosensitive Sole, Auswahl der für das Belichten erforderlichen Lasertechnik. Reduzierung der thermischen Belastung des prozessierten Wafers durch Brennen der Sol-Gel-Schichten mit Laser. Neue Mikrosysteme mit Sol-Gel-Schichten in Sensoren / Aktoren sind denkbar: - Behaglichkeitssystem (Temperatur, Feuchte) - Wettersturzanzeige (Temperatur, Feuchte, Druck, Betauung) - Korrosionswarnung (Temperatur, Feuchte, Betauung, Gase) - Klimawächter. Neue Toolideen bei der Fertigungsoptimierung von Mikrosystemen.