Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Selektives Reinigen von Mikrostrukturen

 
: Ambrosy, A.; Grimme, R.

Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH -IMM-; Stuttgarter Messe- und Kongreß-Gesellschaft, Stuttgart:
Micro-Engineering '97. Tagungsband/Proceedings
Stuttgart: Messe Stuttgart, 1997
Micro-Engineering, Kongreß für Mikrosysteme und Präzisionstechnik <1997, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
reinigen; Struktur (Werkstoff)

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-33085.html