Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Schnelle thermische Niederdruckoxidation

 
: Bauer, A.J.

Pirsch, P. ; Institute of Electrical and Electronics Engineers -IEEE-; Univ. Hannover; Informationstechnische Gesellschaft -ITG-; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mikroelektronik für die Informationstechnik. Vorträge der ITG-Fachtagung am 3. und 4. März 1998 in Hannover
Berlin: VDE-Verlag, 1998 (ITG-Fachbericht 147)
ISBN: 3-8007-2325-5
pp.159
Fachtagung Mikroelektronik für die Informationstechnik <8, 1998, Hannover>
German
Conference Paper
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-32774.html