Fraunhofer-Gesellschaft

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Schaltungssimulation mit FE-Modellen für mikroelektromechanische Systeme

Circuit simulation with finite element models for microelectromechanical systems
 
: Pelz, G.; Lüdecke, A.; Leineweber, M.; Zimmer, G.

Informationstechnik und Technische Informatik : it + ti 41 (1999), No.4, pp.33-38
ISSN: 0944-2774
German
Journal Article
Fraunhofer IMS ()
Drucksensor; finite element; Methode der finiten Elemente; mikroelektromechanische Systeme; Schaltungssimulation; Spezifikationssprache

Abstract
Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) vereinen miniaturisierte Elektronik und Mechanik auf einem Substrat. Die Aufgabe der Elektronik liegt dabei typischerweise im Auslesen von Sensoren und der Anregung von Aktuatoren. In beiden Fällen ist die Wechselwirkung zwischen Schaltung und Mechanik wesentlich für den Systementwurf. Dies erfordert eine dynamische Kosimulation der genannten Domänen. Der vorliegende Beitrag schlägt die Formulierung mechanischer, finiter Elemente (FE) in einer analogen Hardwarebeschreibungssprache (ADHL, Analog Hardware Description Language) vor, so daß diese dynamisch mit einer Schaltung simuliert werden können. Der Beitrag zeigt am Beispiel eines integrierten Drucksensorsystems, daß sich auf diese Weise komplette MEMS betrachten lassen und man somit bereits vor der Fertigung Informationen über die generelle Funktion, aber auch über wichtige Eigenschaften wie etwa Empfindlichkeit oder Linearität gewinnen kann.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-32605.html