Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

RF-plasma deposition of hydrogenated hard carbon thin films

 
: Brandt, G.; Bubenzer, A.; Dischler, B.; Koidl, P.

Jacobsson, J.R. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Thin film technologies. Seminar
Bellingham/Wash.: SPIE, 1983 (Proceedings of SPIE 401)
ISBN: 0-89252-436-7
pp.321-327 : Abb.,Tab.,Lit.
Thin Film Technologies Seminar <1983, Geneva>
English
Conference Paper
Fraunhofer IAF ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-31935.html