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RF-Plasma deposited amorphous hydrogenated hard carbon thin films - preparation, properties and applications.

Mit Wasserstoff gehaertete duenne amorphe Kohlenstoffschichten, die aus rf-Plasma abgeschieden wurden - Praeparation, Eigenschaften und Anwendungen

	Journal of applied physics 54 (1983), No.8, pp.4590-4595 : Abb.,Lit. ISSN: 0021-8979 ISSN: 1089-7550

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	Journal Article
	Fraunhofer IAF ()
	Abscheidung; amorphe Kohlenstoffschicht; Benzoldampf; Brechungsindex; GaAs; Ge; Glas; Infrarot; Ionenenergie; Quarz; Si; Wachstumsrate