Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Resist investigation for ion-beam lithography.

Photolackuntersuchungen fuer Ionenstrahllithographie
 
: Ryssel, H.; Kranz, H.; Haberger, K.; Bosch, J.

Microcircuit Engineering '80. International Conference on Microlithography
Delft: University Press, 1981
pp.293 : Abb.,Tab.,Lit.
International Conference on Microlithography <1980, Amsterdam>
English
Conference Paper
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Belichtung; Ionenstrahl; Lithographie; Photolack

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-31811.html