Fraunhofer-Gesellschaft

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Reinigung von Mikrosystemen und Mikrokomponenten

Cleaning of Micromechanical Systems and Components
 
: Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Produktionstechnik für Mikrosysteme : IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart
Stuttgart: Fraunhofer IPA, 1996
pp.1-6
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Seminar) <1996, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Kontamination; laser; Mikrosystem; Reinigung; Saugen; Struktur; Teilchen

Abstract
Die industrielle Produktion von hybriden Kleinst- und Mikrosystemen stellt neue Anforderungen an die Reinigungstechnik. Die Einzelkomponenten hybrider Mikrosysteme, selbst komplexe multifunktionale Gebilde, werden zukünftig erst kurz vor der eigentlichen Integration zum Gesamtsystem vereinzelt oder bereits separiert in geeigneten Transportbehältnissen bereitgestellt. Hierbei können die Systemkomponenten kontaminiert werden. Diese Kontaminationen, partikulärer als auch chemischer Art, beeinträchtigen den anschließenden Montageprozeß erheblich und müssen deshalb vor der Montage beseitigt werden. Da die Komponenten vor allem von hybrid integrierten Kleinst- und Mikrosystemen ihrerseits bereits eine hohe Integrationsdichte unterschiedlichster Komponenten aufweisen können, ist der Einsatz herkömmlicher integraler Reinigungsverfahren aufgrund von Materialunverträglichkeiten nur noch selten möglich. Hieraus leitet sich die Forderung ab, ein Reinigungsverfahren einzusetzen, welches eine lokal begrenzte Reinigung von z.B. Funktionsflächen ermöglicht und angrenzende Systemkomponenten durch Querkontaminationen nicht verunreinigt. Der Einsatz eines derartigen Reinigungsverfahrens kann die Betriebskosten einer Fertigung unter Reinraumbedingungen erheblich minimieren, da die aus technologischer Sicht erforderliche Reinheit nicht über den gesamten Fertigungsprozeß aufrechterhalten werden muß, sondern selektiv am Ort der Verarbeitung der Komponeneten erzeugt werden kann.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-31607.html