Abstract
Zur Sicherung der Reinheit von Gasversorgungskomponenten und -systemen für kontaminationsempfindliche Anwendungen wurde ein spezielles Konzept entwickelt. Es sieht vor, daß ab einer Vorreinigung der Komponenten deren weitere Behandlung - das sind Reinigung, Montage, Prüfung und Verpackung - ständig in Reinraumumgebung erfolgt. Dafür wurden Reinraumtunnel mit Vertikalströmung für die vollautomatische Reinigung und Horizontalströmung für die manuelle Montage entwickelt. Zur Qualitätssicherung wurde ein Partikelprüfstand in den Montagetunnel integriert. Die Entwicklung von Komponentenreinigung und -trocknung, Reinraumkonzepten und Partikelprüfstand wurde durch experimentelle Untersuchungen untestützt.