Fraunhofer-Gesellschaft

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Reinigen und Aktivieren von Oberflächen im Plasma. Eine Übersicht mit Anwendungsbeispielen aus den Bereichen Entfetten, Metallisieren, Lackieren und Entlacken

Cleaning and activation of surfaces in the plasma
 
: Fessmann, J.

Metalloberfläche : mo 46 (1992), No.2, pp.83-88
ISSN: 0026-0797
ISSN: 0043-2792
German
Journal Article
Fraunhofer IPA ()
Aktivierung; Oberfläche; plasma; plasmaätzen; reinigen

Abstract
Das Plasma ist ein modernes und vielseitiges Werkzeug zum Reinigen und Modifizieren von Oberflächen. Die Plasmabehandlung stammt aus der Halbleiterfertigung. Vor dem Hintergrund des angestrebten Einsatzes umweltfreundlicher Produktionstechnologien gewinnen trockene, "saubere" Plasmaverfahren in zahlreichen Industriezweigen an Bedeutung. So treten bei einer Plasmabehandlung nur minimale Entsorgungsprobleme auf. Die Verfahren sind durch eine hohe Arbeitssicherheit und einen geringen Betriebsaufwand gekennzeichnet. Im folgenden Beitrag werden einige Anwendungen der Plasmaätztechnik beispielhaft dargestellt. A survey with case examples from the areas of degreasing, metalizing, lacquering and delacquering. Plasma is a modern and versatile tool for the cleaning and modification of surfaces. Plasma treatment originated with semiconductor production. Against the background of the use of environmental-friendly production technologies which are aimed at, dry and "clean" plasma processes are gain ing importance in numerous industrial sectors. Thus, with plasma processing, the problems related to disposal are minimal. The processes are characterized by a high operational safety and low working expenditure. In the following article, some applications of plasma etching technique will be introduced by way of example.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-31599.html