Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Reduzierung der Nichtlinearitaet von Siliziumdrucksensoren fuer kleine Druecke

 
: Sandmaier, H.; Obermeier, E.

Henning, W. ; Nachrichtentechnische Gesellschaft -NTG-:
Sensoren - Technologie und Anwendung : Vorträge d. 3. Fachtagung vom 17. bis 19. März 1986 in Bad Nauheim
Berlin: VDE Verlag, 1986 (NTG-Fachberichte 93)
ISBN: 3-8007-1457-4
pp.159 : Abb.,Lit.
Fachtagung Sensoren, Technologie und Anwendung <3, 1986, Bad Nauheim>
German
Conference Paper
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Druck(klein); Nichtlinearitaet; Reduzierung; Siliziumdrucksensor

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-31467.html