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Reduction of wafer transfer for optimizing material flow

	Solid state technology 31 (1988), No.2, pp.43-45 : Abb. ISSN: 0038-111X

	German
	Journal Article
	Fraunhofer IPA ()
	carrier; Halbleiterfertigung; Materialfluss

Abstract
Der Artikel behandelt Strategien zur Vermeidung von Umhordevorgaengen in der Halbleiterfertigung. Mit Hilfe dieser Strategien werden Moeglichkeiten zur Optimierung von Materialfluss und Handhabungsvorgaengen aufgezeigt. (IPA)

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-31460.html