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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Reduction of wafer transfer for optimizing material flow
 
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1988
Journal Article
Title

Reduction of wafer transfer for optimizing material flow

Abstract
Der Artikel behandelt Strategien zur Vermeidung von Umhordevorgaengen in der Halbleiterfertigung. Mit Hilfe dieser Strategien werden Moeglichkeiten zur Optimierung von Materialfluss und Handhabungsvorgaengen aufgezeigt. (IPA)
Author(s)
Mack, A.
Sauter, K.-D.
Wohnhas, S.
Journal
Solid state technology  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • carrier

  • Halbleiterfertigung

  • Materialfluss

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