Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench etching techniques

 
: Werno, J.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kersjes, R.A.

Giber, J.; Göpel, W.; Holmes, I.L.; Horvai, G.; Meixner, H.; Timar-Horvath, V. ; Budapesti Müszaki Egyetem, Eötvös Lorand Fizikai Tarsulat:
Eurosensors VII. Book of Abstracts
Budapest, 1993
pp.348
Eurosensors <7, 1993, Budapest>
English
Conference Paper
Fraunhofer IMS ()
electronic device; elektronisches Gerät; heat loss; Membran; membrane; Meßaufnehmer; microsystem; Mikrosystemtechnik; sensing element; silicium; silicon; Substrat; substrate; thermal insulation; Wärmeisolation; Wärmeverlust

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-31454.html