Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench etching techniques
| Giber, J.; Göpel, W.; Holmes, I.L.; Horvai, G.; Meixner, H.; Timar-Horvath, V. ; Budapesti Müszaki Egyetem, Eötvös Lorand Fizikai Tarsulat:
Eurosensors VII. Book of Abstracts
Budapest, 1993
pp.348 |
| Eurosensors <7, 1993, Budapest> |
|
| English |
| Conference Paper |
| Fraunhofer IMS () |
| electronic device; elektronisches Gerät; heat loss; Membran; membrane; Meßaufnehmer; microsystem; Mikrosystemtechnik; sensing element; silicium; silicon; Substrat; substrate; thermal insulation; Wärmeisolation; Wärmeverlust |