
Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench etching techniques
| Giber, J.; Göpel, W.; Holmes, I.L.; Horvai, G.; Meixner, H.; Timar-Horvath, V. ; Budapesti Müszaki Egyetem, Eötvös Lorand Fizikai Tarsulat: Eurosensors VII. Book of Abstracts Budapest, 1993 pp.348 |
| Eurosensors <7, 1993, Budapest> |
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| English |
| Conference Paper |
| Fraunhofer IMS () |
| electronic device; elektronisches Gerät; heat loss; Membran; membrane; Meßaufnehmer; microsystem; Mikrosystemtechnik; sensing element; silicium; silicon; Substrat; substrate; thermal insulation; Wärmeisolation; Wärmeverlust |