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Absolutinterferometrie mit wellenlängenstabilisierten Halbleiterlasern

 
: Thiel, J.; Haas, C.; Pfeifer, T.

Optik 98 (1995), No.4, pp.163-168
ISSN: 0030-4026
German
Journal Article
Fraunhofer IPT ()
Absolutinterferometrie; Halbleiterlaser; Interferometrie; Wellenlängenregelung

Abstract
Mit der intensiven Etwicklung neuer Halbleiterlaserstrukturen bieten sich in jüngster Zeit interessante Perspektiven, die Einsatzmöglichkeiten von Laserinterferometern als hochgenaue industrielle Meßsysteme zu erweitern. Sämtliche kommerziellen Geräte sind bisher nur in der Lage, Weglängenänderungen, d.h. Verschiebungen eines Meßspiegels zu messen. Durch den Einsatz von Halbleiterlasern als Strahlungsquelle können dagegen auch feste Abstände bestimmt werden, indem man die Wellenlänge des Halbleiterlasers über einen möglichst großen modensprungfreien Bereich durchstimmt und die erzeugten Interferenzsignalperioden geeignet ausgewertet. In diesem Beitrag wird ein absoluinterferometrisches Verfahren vorgestellt, bei dem durch eine kontinuierliche Wellenlängenänderung eines Halbleiterlasers zwischen zwei fest definierten Wellenlängen eine Änderung der Interferenzphase hervorgerufen wird, aus der direkt der gesuchte Abstand ermittelt werden kann. Dazu wird eine Stabilisierung der Laserluftwe llenlänge als Maßstabsverkörperung auf besser als 10highminus8 benötigt, die über einen geschlossenen Regelkreis implementiert wird. Im Gegensatz zu anderen bisher vorgestellten absoluinterferometrischen Meßverfahren bietet sich hier wegen der Kenntnis der stabilisierten Wellenlänge nun die Möglichkeit, dasselbe System sowohl für die Absolut- als auch für die Relativmessung einzusetzen. Nr.:941099902290

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-3056.html