Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Abscheidung von Titannitrid bei niederen Temperaturen mittels ECR-Plasma-MOCVD

 
: Weber, A.

6. Bundesdeutsche Fachtagung für Plasmatechnologie '94. Proceedings
1994
Bundesdeutsche Fachtagung für Plasmatechnologie <1994, Wuppertal>
German
Conference Paper
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-3044.html