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Konferenzschrift
Abscheidung von Titannitrid bei niederen Temperaturen mittels ECR-Plasma-MOCVD
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1994
Conference Paper
Titel
Abscheidung von Titannitrid bei niederen Temperaturen mittels ECR-Plasma-MOCVD
Author(s)
Weber, A.
Hauptwerk
6. Bundesdeutsche Fachtagung für Plasmatechnologie '94. Proceedings
Konferenz
Bundesdeutsche Fachtagung für Plasmatechnologie 1994
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST