Fraunhofer-Gesellschaft

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Zur Abschätzung von Schichtdicke und Versetzungsdichte bei der Heteroepitaxie mittels Rockingkurvenmessungen

 
: Lanyi, P.; Yavas, O.; Bronner, W.; Bett, A.W.

Arbeitskreis Röntgentopographie:
Röto '89. Proceedings
1990
RÖTO <1989, Berlin>
German
Conference Paper
Fraunhofer ISE ()
Heteroepitaxie; relaxation; Rockingkurve; Schichtdickenbestimmung; Strukturphase; Versetzungsdichte

Abstract
Bei der Verfahrensentwicklung und Produktionskontrolle geht es weniger um die Aufklärung festkörperphysikalischer Zusammenhänge, als vielmehr darum, ob das Epitaxiesystem für weitere Anwendungen geeignet ist oder nicht. Im Vordergrund stehen folglich die Bestimmung der Versetzungsdichte und die Charakterisierung des Relaxationszustandes der Epitaxieschicht. Bei der Beantwortung dieser Fragen anhand von Rockingkurvenmessungen erhält man mathematische Zusammenhänge, die nur auswertbar sind, wenn die Dicke der Epitaxieschicht bekannt ist. Unter Berücksichtigung der photoelektrischen Absorption wurde eine Beziehung abgeleitet, die aus dem Intensitätsverhältnis des Substrat- und Epipeaks die Bestimmung der Schichtdicke einfacher analytischer Form gestattet und somit die Beantwortung der gestellten Strukturfragen. Bei der Anwendung der Methode auf ein GaAs-GaAlAs-Epitaxiesystem konnte gezeigt werden, daß die Versetzungsdichte in der Schicht gegenüber der des Substrates nicht angewachsen war. Bei der Auswertung der Rickingkurven von Ge-GaAs-Epitaxiesystemen konnten realistische Werte für die Versetzungsdichte erzielt bzw. die Herausbildung der natürlichen Metrik des Schichtmaterials mit zunehmender Schichtdicke nachgewiesen werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-3039.html