Fraunhofer-Gesellschaft

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Qualifizierung von Fertigungsgeräten und Komponenten für den Einsatz unter Reinraumbedingungen

 
: Kahlden, T. von

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart; Verein Deutscher Ingenieure e.V. -VDI-, Düsseldorf; Württembergischer Ingenieurverein, Stuttgart:
Fertigung und Montage unter Reinraum-Bedingungen. Neue Tendenzen der Reinraum-Technik, Personaleinsatz, Automatisierung, Konstruktions-Richtlinien, Materialien, Reinigung, besondere Anforderungen der Pharmazie, der Leiterplatten-Herstellung und der Zuliefer-Industrie : Seminar Stuttgart, 18. und 19. März 1992
Stuttgart, 1992
22 pp.
Seminar Fertigung und Montage unter Reinraum-Bedingungen <1992, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Fertigungsgerät; Fertigungsmittel; Reinraum; Reinraumtauglichkeit; Reinraumtauglichkeitsuntersuchungen

Abstract
Der folgende Beitrag beschreibt eine systematische Vorgehensweise, die für die Prüfung von allen in Reinräumen einzusetzenden Fertigungseinrichtungen angewendet werden kann. Durch die Vielfalt der Einrichtungen werden diese entsprechenden Kategorien zugeordnet. Jede Kategorie von Fertigungseinrichtungen kann nach dem selben Schema untersucht werden. Hierfür werden die Parameter einer jeden Kategorie aufgezeigt, die die Reinheitstauglichkeit beeinflussen. Anhand der Definition von Bereichen, in denen Untersuchungen durchzuführen sind, werden die Meßvorgehensweisen beschrieben. Die Bestimmung von luftgetragenen Partikeln nehmen durch die Einfachheit der Durchführung eine zentrale Stellung bei der Meßdurchführung ein. Um diese Messergebnisse mit entsprechenden Genauigkeitsgrenzen anzugeben, müssen die Daten statistisch ausgewertet werden. Die hierfür notwendigen Voraussetzungen und Vorgehensweisen der praktischen Durchführung der Auswertung werden beschrieben.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-30363.html