Abnahmeprüfung und Kalibrierung von Laserinterferometer-Systemen

Laserinterferometer haben als Glied in der Kalibrierkette große Bedeutung, erfordern selbst aber auch eine Überwachung. Der Anwender hat nur bedingt Möglichkeiten, ein Laserinterferometer auf die Reichtigkeit der Anzeige zu überwachen. Es bieten sich dazu zwei Verfahren an: 1. die Überprüfung des Gesamtsystems und 2. die Überprüfung der einzelnen Komponenten eines Laserinterferometers. In diesem Beitrag wird über Erfahrungen mit dem VDI-Bericht 750 (April 1989) "Dokumentation der Genauigkeit von Laserinterferometer-Systemen" berichtet. Der Beitrag stützt sich auf eine Diplomarbeit, die J. Unger 1988 am IFF durchführte.