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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Abnahmeprüfung und Kalibrierung von Laserinterferometer-Systemen
 
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1990
Conference Paper
Title

Abnahmeprüfung und Kalibrierung von Laserinterferometer-Systemen

Other Title
Calibration of laserinterferometer-systems
Abstract
Laserinterferometer haben als Glied in der Kalibrierkette große Bedeutung, erfordern selbst aber auch eine Überwachung. Der Anwender hat nur bedingt Möglichkeiten, ein Laserinterferometer auf die Reichtigkeit der Anzeige zu überwachen. Es bieten sich dazu zwei Verfahren an: 1. die Überprüfung des Gesamtsystems und 2. die Überprüfung der einzelnen Komponenten eines Laserinterferometers. In diesem Beitrag wird über Erfahrungen mit dem VDI-Bericht 750 (April 1989) "Dokumentation der Genauigkeit von Laserinterferometer-Systemen" berichtet. Der Beitrag stützt sich auf eine Diplomarbeit, die J. Unger 1988 am IFF durchführte.
Author(s)
Dutschke, W.
Unger, J.
Mainwork
Laserinterferometer in der Längenmeßtechnik. Seminar  
Conference
Laserinterferometer in der Längenmeßtechnik 1990  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • calibration

  • Fertigung

  • Fertigungsmeßtechnik

  • Kalibrieren

  • laser

  • laserinterferometer

  • Messen

  • Meßunsicherheit

  • metrology

  • precision

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