Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Procedures for testing clean room suitability of manufacturing equipment

 

Wingrove, D.; Schmutz, W. ; Semiconductor Equipment and Materials International -SEMI-, San Jose/Calif.:
Defect Control and Related Yield Management. Technical proceedings : STEP Europe Conference, October 27-38, 1988, Brussels, Belgium
London, 1988
pp.131-143 : Abb.,Lit.
STEP Europe Conference <1988, Brussels>
English
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Fertigungsgerät; Meßtechnik; Partikelmessung; Reinraumtauglichkeit; Reinraumtechnik; Strömungsanalyse

Abstract
Bisher veröffentlichte Messungen und Vorgehensweisen zu Reinraumtauglichkeitsuntersuchungen sind meist unvollständig. In diesem Aufsatz wird eine Vorgehensweise aufgezeigt, die im weitesten Sinne die reinraumtechnischen Parameter untersucht. Dies sind neben den reinen Partikelmessungen auch Strömungsuntersuchungen. (IPA)

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-29416.html