Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Present status and problems of X-ray lithography.
Derzeitiger Stand und Probleme der Roentgenlithographie
| SEMICON Europa 1981. Proceedings : Zuerich, March, 1981
Brüssel: SEMI Europe, 1981
pp.537-579 : Abb., Lit. |
| Semicon Europa <1981, Zürich> |
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| English |
| Conference Paper |
| Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert |
| Lithographie; Röntgenstrahlen; Stand der Technik |