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Konferenzschrift
100 MIPS am Sensor - mit flexiblen Mikrostrukturen zum Mikrosystem
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1998
Conference Paper
Titel
100 MIPS am Sensor - mit flexiblen Mikrostrukturen zum Mikrosystem
Author(s)
Marschner, U.
Oswald, J.
Heinrich, M.
Jossa, I.
Fischer, W.-J.
Hauptwerk
Workshop "Mikrosystemtechnik - eine Zukunftstechnologie für Sachsen" 1998
Konferenz
Workshop "Mikrosystemtechnik - eine Zukunftstechnologie für Sachsen" 1998
Language
German
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IMS2