English
Deutsch
Log In
Password Login
or
Log in with Fraunhofer Smartcard
Research Outputs
Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Artikel
Potenzen des Puls-Magnetron-Sputterns (PMS)
Details
Full
Export
Statistics
Options
1995
Journal Article
Titel
Potenzen des Puls-Magnetron-Sputterns (PMS)
Author(s)
Schiller, S.
Goedicke, K.
Kirchhoff, V.
Metzner, C.
Zeitschrift
Vakuum in Forschung und Praxis
DOI
10.1002/vipr.19950070409
Language
German
google-scholar
View Details
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP