Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
Potenzen des Puls-Magnetron-Sputterns (PMS)
:
Schiller, S.
;
Goedicke, K.
;
Kirchhoff, V.
;
Metzner, C.
:
DOI:
10.1002/vipr.19950070409
Vakuum in Forschung und Praxis 7 (1995), No.4, pp.286-292
ISSN: 0947-076X
German
Journal Article
Fraunhofer FEP
(
)
:
http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-29049.html
