Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Potenzen des Puls-Magnetron-Sputterns (PMS)

 
: Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Metzner, C.

:

Vakuum in Forschung und Praxis 7 (1995), No.4, pp.286-292
ISSN: 0947-076X
German
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-29049.html