Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Plasmapolymerisation zur Erzeugung dünner Schichten und ihre Analytik

 
: Hellwig, G.; Oehr, C.; Schindler, B.; Bauser, H.

Eickenbusch, H.; Wolf, M. ; VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien, Düsseldorf:
Wer macht was in den Physikalischen Technologien. Dünnschichttechnologien, Lasertechnik, Plasmatechnik, Supraleitung. Tagungsband
Düsseldorf: VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien, 1990
pp.37-38
Tagung "Wer macht Was" <1990, Berlin/Ost>
German
Conference Paper
Fraunhofer IGB ()
Oberflächenanalytik; Oberflächenmodifizierung; Plasmadiagnostik; plasmapolymerisation

Abstract
Im FHIGB werden verschiedene Beschichtungs- und Oberflächenmodifizierungsverfahren zur gezielten Beeinflußung von Grenzflächeneigenschaften wie z.B. Adhäsion, Benetzbarkeit, Korrosion, Biokompatibilität oder zur Herstellung von Gaspermeationsmembranen angewandt. Neben konventionellen naßchemischen Verfahren gehören dazu Abscheidungstechniken aus der Gasphase wie die Kathodenzerstäubung und die plasmagestützte Abscheidung.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28809.html