: Vohrer, U.

Abstract
Durch den Einsatz von Niedertemperaturplasmen ist es möglich, Reinigungsprozesse, die bisher nur mit FCKWs realisiert wurden, auf ein umweltverträgliches Verfahren umzustellen. Dabei konnten auch noch verbesserte Reinigungsleisten erzielt werden. Neben der Beseitigung organischer Verunreinigungen werden immer größere Fortschritte auch bei der Reinigung von anorganischen Rückständen erzielt. Da die Bedeutung der Vorbereitung von Oberflächen für Folgebehandlungen (z.B. Beschichtungen) ständig wächst - denn eine Beschichtung ist nur so gut wie ihre Haftung zum Substrat - ergeben sich zahlreiche Anwendungsmöglichkeiten für die Plasma-Feinreinigung. Dennoch ist zu beachten, daß die Plasma-Feinreinigung ein vielparametriger Prozess ist, der idealerweise auf jedes Reinigungsproblem hin optimiert werden sollte. Eine analytische Begleitung bei der Optimierung des Prozesses erscheint daher sinnvoll. Weiterhin ist es wichtig, den Reinigungsprozess nicht als end-of pipe-Lösung anzusehen,sondern n ach Möglichkeit den Metallbearbeitungsprozess auch auf die Reinigung hin zu optimieren. So kann eine Reduktion der eingesetzten Bearbeitungshilfsstoffe (Menge und verschiedene Arten) nicht nur den Reinigungserfolg verbessern, sondern hilft weiterhin Betriebskosten zu verringern.