Schwierigkeiten und Lösungswege bei der industriellen Teilereinigung mittels Plasmatechnologie

: Vohrer, U.

Abstract
Die Plasmatechnologie ist ein ideales "Werkzeug" zur Bearbeitung von Oberflächen. Aufgrund der vielseitigen Oberflächenwirkungen können unterschiedlichste Materialien gereinigt, geätzt, modifiziert, beschichtet, oder strukturiert werden. Durch die Parameter, Prozeßgas (bzw. Gasgemisch), Anregungsfrequenz und deren Leistung, Prozeßdruck, Behandlungsdauer und Beladungsgrad einer Anlage läßt sich die Qualität der unterschiedlichen Prozesse optimieren. In diesem Vortrag wird ausschließlich auf die Reinigung von Metalloberflächen mittels der Plasmatechnologie eingegangen und gezeigt, wo die Möglichkeiten und Grenzen dieser innovativen Technologie liegen.