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Plasmabehandlung von Oberflächen bei Umgebungsdruck

	JOT + Oberfläche. Journal für Oberflächentechnik (1995), No.12, pp.40-42 : Abb. ISSN: 0940-8789

	German
	Journal Article
	Fraunhofer ILT ()
	Atmosphärendruck; Dünnschichttechnik; Gasdruck; Gasmoleküle; plasma; Spaltgeometrie

Abstract
Für viele Unternehmen ist die Einführung der Plasmareinigung deshalb nicht attraktiv weil sie mit relativ hohen Investitions- und Betriebskosten für die erforderliche Vakuumtechnik verbunden ist. In manchen Füllen kann jedoch auf das Vakuum verzichtet und ein Plasma bei Atmosphärendruck eingesetzt werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28794.html