Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Plasmabehandlung von Oberflächen bei Umgebungsdruck

 
: Pochner, K.; Neff, W.

JOT + Oberfläche. Journal für Oberflächentechnik (1995), No.12, pp.40-42 : Abb.
ISSN: 0940-8789
German
Journal Article
Fraunhofer ILT ()
Atmosphärendruck; Dünnschichttechnik; Gasdruck; Gasmoleküle; plasma; Spaltgeometrie

Abstract
Für viele Unternehmen ist die Einführung der Plasmareinigung deshalb nicht attraktiv weil sie mit relativ hohen Investitions- und Betriebskosten für die erforderliche Vakuumtechnik verbunden ist. In manchen Füllen kann jedoch auf das Vakuum verzichtet und ein Plasma bei Atmosphärendruck eingesetzt werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28794.html