Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Plasmaaktivierte Abscheidung dünner Schichten bei Atmosphärendruck

 
: Thyen, R.

JOT + Oberfläche. Journal für Oberflächentechnik (1998), No.5, pp.12-15
ISSN: 0940-8789
German
Journal Article
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28789.html