Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Plasma source for ion and electron beam lithography

 

:

Journal of vacuum science and technology B. Microelectronics and nanometer structures 16 (1998), No.6, pp.3367
ISSN: 0734-211X
ISSN: 1071-1023
English
Journal Article
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28778.html