Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Plasma-aktivierte Abscheidung dünner Schichten bei Atmosphärendruck

 
: Thyen, R.

JOT + Oberfläche. Journal für Oberflächentechnik 38 (1998), No.5, Sonderteil Dünne Schichten, pp.12-14
ISSN: 0940-8789
German
Journal Article
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28747.html