Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Planare Drucksensoren in CMOS Technologie

 
: Kandler, M.; Mokwa, W.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1989
Duisburg: IMS, 1990
ISSN: 0932-5824
pp.23-25
German
Book Article
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28593.html