Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Permanent magnet micromotors on silicon substrates

 
: Wagner, B.; Kreutzer, M.; Benecke, W.

:

Journal of Microelectromechanical Systems 2 (1993), pp.23-29
ISSN: 1057-7157
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Journal Article
Fraunhofer ISIT ()