Partikelmeßtechnik auf dem Prüfstand

Aus einem bereits 1991 geschlossenen Verbundprojekt mit 35 Firmen aus dem Bereich der Zulieferer und Hersteller von Halbleitern entstanden Fortführungsprojekte mit verschiedenen Themenschwerpunkten. Eines dieser Projekte behandelte die Partikelmeßtechnik. Als Schwerpunkte in diesem Projekt werden Partikelzähler gleicher Bauart verglichen, Einflußfaktoren auf die Geräte ermittelt, Probenahmesysteme ausgetestet, die Geräte überprüft und bei realen Messungen eingesetzt. Letztlich werden Vorgehensweisen zur statistischen Interpretation und Systemdynamik festgelegt. An dem Projekt beteiligen sich sowohl Geräteanwender als auch Lieferanten. Die erarbeiteten Vorgehensweisen und Verfahrensvorschriften werden in einer Art Handbuch niedergeschrieben.