Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Partikelmessungen in Druckgasen

 
: Dorner, J.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. Oktober 1990 : 1. und 2. Oktober 1990
Stuttgart, 1990
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop)
Meßtechnisches Praktikum
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Kontamination; Partikelmessung; Partikelmeßtechnik; Teilchen

Abstract
Dieser Vortrag behandelt die partikulären Kontaminationen und deren Erfassung. Im ersten Teil werden die Partikelmeßmethoden näher beschrieben, sowie auf die Meßgeräte, Meßmethoden und Methoden der Probenahmen eingegangen. Anschließend wird auf die generellen Anwendungsmöglichkeiten der Partikelmeßtechnik in Gasen eingegangen, wo sie als Qualifizierungs- und Optimierungshilfsmittel Verwendung findet.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-28024.html